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聚醚醚酮(PEEK)材料在晶圆载具
晶圆载具包括晶圆承载盒、晶圆传送盒、晶舟等,晶圆存放在运输盒内的时间在整个生产过程中占比很高,其材质、质量和干净程度会影响晶圆质量。PEEK可用于制作一般传输制程用载具(一般采用抗静电PEEK),它具有耐磨性、耐化学腐蚀性、尺寸稳定性、抗静电性和低脱气等特性,有助于防止颗粒污染并提高晶圆搬运、存储和转移的可靠性美国苏威PEEK:
美国苏威 PEEK KT-880 GF20
美国苏威 PEEK KT-820 CF30
美国苏威 PEEK KT-880 FW30
美国苏威 PEEK 5400
美国苏威 PEEK 5300X
美国苏威 PEEK KT-810
美国苏威 PEEK 5600X
美国苏威 PEEK KT-850
美国苏威 PEEK KT-851 NL
美国苏威 PEEK KT-880 SL30
美国苏威 PEEK KT-880 NL
美国苏威 PEEK KT-1211FP
美国苏威 PEEK KT-880 CF30
美国苏威 PEEK KT-820P
美国苏威 PEEK KT-880 CF40
美国苏威 PEEK KT-880UFP
美国苏威 PEEK KT-820 NL
美国苏威 PEEK KT-820 SL10
美国苏威 PEEK KT-820UFP
美国苏威 PEEK KT-820FP
美国苏威 PEEK KT-850P
美国苏威 PEEK KT-820 GF15
美国苏威 PEEK KT-820 SL30
美国苏威 PEEK KT-880 GF30
美国苏威 PEEK KT-880SFP
美国苏威 PEEK KT-820SFP
美国苏威 PEEK KT-820
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PEEK美国苏威KT-820SL45
PEEK美国苏威KT-820SFP
PEEK美国苏威KT-820NL
PEEK美国苏威KT-820SL10
PEEK美国苏威KT-820FP
PEEK美国苏威KT-820GF15
PEEK美国苏威KT-820